按与外部结构的密封方式分:固体垫密封、液槽密封和负压泄漏密封
固体垫密封:过滤器周边粘贴有弹性的固体密封垫,如氯丁橡胶,闭孔海绵橡胶板等,通过受力挤压的方式来达到接触面之间的密封。
液槽密封:液槽密封过滤器的边框设有一圈沟槽,沟槽内充满非牛顿密封液。安装时,将刀口插入沟槽中的非牛顿密封液进行密封,作用原理类似泡菜坛。此种密封方式稳定可靠,泄漏少,在净化级别较高的洁净室内广泛使用。
负压泄漏密封:严格的说此种密封方式不由过滤器决定,而由安装有过滤器的设备和安装位置决定。该种密封方法的原理是将过滤器下游端的已经过滤的空间作为正压,未过滤的空间作为负压,从结构设计上解决过滤器与外部结构的密封问题。FFU、隧道烘箱一般采取此类密封方式。
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